3.8 minimální místní tloušťka filmu
(mimimum local film thickness) nejnižší místní hodnota tloušťky zjištěná na funkční ploše povrchu určitého zkušebního vzorku POZNÁMKA 1 k heslu Určení této hodnoty je požadováno pouze pro rozšířené hodnocení měření tloušťky filmu; viz kapitola 7, body k) a l).
3.8 minimum local film thickness
lowest value of the local film thickness found on the relevant surface area of a particular test specimen Note 1 to entry: Measurement of this property is only required for the extended evaluation of film thickness measurements; see Clause 7, k) and l).