ČSN IEC 60050-561 - Mezinárodní elektrotechnický slovník –Část 561: Piezoelektrické, dielektrickéa elektrostatické součástky a souvisící materiálypro řízení a výběr kmitočtu a detekci
| Stáhnout normu: | ČSN IEC 60050-561 (Zobrazit podrobnosti) | ||||
| Změny: |
|
||||
| Datum vydání/vložení: | 2015-11-01 | ||||
| Zdroj: | http://www.electropedia.org/iev/iev.nsf/SearchView?SearchView&Query=field+SearchFields+contains+561+and+field+Language=en&SearchOrder=4&SearchMax=0 | ||||
| Třidící znak: | 330050 | ||||
| Obor: | Terminologie - Mezinárodní slovník | ||||
| ICS: |
|
||||
| Stav: | Platná |
561-07-27 referenční rovina
rovina, která se používá jako referenční pro měření rovinnosti
POZNÁMKA 1 k heslu Referenční rovinou může být jeden z následujících typů:
1. pro měření, při kterém je deska upnuta, je referenční rovinou rovná upínací plocha, která je identická se zadním povrchem desky;
2. pro měření, při kterém není deska upnuta, je referenční rovina stanovena výškou povrchu ve třech bodech na čelní ploše desky uvnitř stanovené oblasti kvality (FQA);
3. pro měření, při kterém není deska upnuta, je referenční rovina stanovena aproximací metodou nejmenších čtverců užitím výšky povrchu k čelní ploše desky ve všech měřených bodech uvnitř stanovené oblasti kvality (FQA).
561-07-27 reference plane,
plane used as a reference for flatness measurements
Note 1 to entry: The reference plane can be one of the following types:
1. for measurements in which the wafer is clamped, the reference plane is the flat chuck surface that is identical with the back surface of the wafer;
2. for measurements in which the wafer is not clamped, the reference plane is defined by the surface height at three points on the front surface of the wafer within the FQA;
3. for measurements in which the wafer is not clamped, the reference plane is defined by the least-squares fit to the front surface of the wafer using the surface height at all measured points within the FQA.