ČSN IEC 60050-523 - Mezinárodní elektrotechnický slovník – Část 523: Mikroelektromechanické součástky
| Stáhnout normu: | ČSN IEC 60050-523 (Zobrazit podrobnosti) | |
| Změny: |
|
|
| Datum vydání/vložení: | 2019-06-01 | |
| Zdroj: | http://www.electropedia.org/iev/iev.nsf/welcome?OpenForm&Seq=1 | |
| Třidící znak: | 330050 | |
| Obor: | Terminologie - Mezinárodní slovník | |
| ICS: |
|
|
| Stav: | Platná |
523-04-05 membránová struktura
pružná membránová struktura, která rozděluje prostor
POZNÁMKA 1 k heslu V mikroskopické oblasti jsou pro membránovou strukturu využívány materiály jako je monokrystalický křemík, polykrystalický křemík (polysilicon) atd. Tato struktura se běžně vyrábí anizotropním leptáním. Tloušťka struktury může být, v závislosti na aplikaci, nastavena od několika mikrometrů do několika desítek mikrometrů. Struktura může být používána pro detekci změn tlaku nebo pro vyvolání posunutí. Je používána například u senzorů tlaku automobilových motorů, v částech citlivých na tlak a v křemíkových mikrofonech. Membrána je rovněž využívána pro změnu tlaku v mikroventilech a mikročerpadlech.
[ZDROJ: IEC 62047-1:2016, 2.4.16]
523-04-05 diaphragm structure
flexible membrane structure that separates space
Note 1 to entry: In a microscopic region, materials such as single-crystal silicon, polysilicon, and so on are used for the diaphragm structure. The structure is commonly fabricated by anisotropic etching. The thickness of the structure can be controlled from several micrometres to several tens of micrometres depending on the application. The structure can be used to detect pressure changes, or to cause displacement. For example, it is used in the pressure-sensitive part of a pressure sensor for automobile engines and silicon microphones. Also, it is used as a membrane to change pressure in microvalves and micropumps.
SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.16