ČSN IEC 60050-523 - Mezinárodní elektrotechnický slovník – Část 523: Mikroelektromechanické součástky
| Stáhnout normu: | ČSN IEC 60050-523 (Zobrazit podrobnosti) | |
| Změny: |
|
|
| Datum vydání/vložení: | 2019-06-01 | |
| Zdroj: | http://www.electropedia.org/iev/iev.nsf/welcome?OpenForm&Seq=1 | |
| Třidící znak: | 330050 | |
| Obor: | Terminologie - Mezinárodní slovník | |
| ICS: |
|
|
| Stav: | Platná |
523-05-04 povrchové mikroopracování
mikroopracování, které vytváří na povrchu substrátu různé látky o různých tvarech
POZNÁMKA 1 k heslu Povrchové mikroopracování je technika zpracování, která používá například nanášení z chemických par (CVD) pro vytváření různých tenkých vrstev na substrátu a používá masku pro selektivní odstranění povrchu substrátu pro zhotovení pohyblivých dílů a dalších struktur. Rozpuštěná vrstva, která byla původně nanesena, se označuje jako obětovaná vrstva (sacrificial layer). Materiál typické obětované vrstvy je fosforsilikátové sklo (PSG). Tato technologie se používá pro výrobu mikronosníků, ložisek, spojek atd.
[ZDROJ: IEC 62047-1:2016, 2.5.6]
523-05-04 surface micromachining
micromachining that forms various substances in various microshapes on the substrate’s surface
Note 1 to entry: Surface micromachining is a processing technique that applies for example chemical vapour deposition (CVD) to form various thin films on the substrate and uses a mask to perform selective removal of the substrate surface to produce movable parts and other structures. The dissolved layer that was deposited initially is called the sacrificial layer. A typical sacrificial layer material is phosphosilicate glass (PSG). This technology is applied to the fabrication of micro-beams, bearings, and links, etc.
SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.6