ČSN P CEN ISO/TS 80004-13 (by DeepL) - Nanotechnologie - Slovník - Část 13: Grafen a příbuzné dvourozměrné (2D) materiály
Stáhnout normu: | ČSN P CEN ISO/TS 80004-13 (by DeepL) (Zobrazit podrobnosti) |
Datum vydání/vložení: | 2021-02-01 |
Třidící znak: | 012003 |
Obor: | Nanotechnologie |
ICS: |
|
Stav: | Platná |
3.2.1.19 nanášení atomárních vrstev
ALD
proces výroby rovnoměrných konformních vrstev cyklickým nanášením materiálu prostřednictvím samokončících povrchových reakcí, které umožňují kontrolu tloušťky v atomárním měřítku.
Poznámka 1 k záznamu: Tento proces často zahrnuje použití nejméně dvou po sobě jdoucích reakcí k dokončení cyklu, který lze několikrát opakovat, aby se dosáhlo požadované tloušťky.
[ZDROJ: ISO/TS 80004-8:2013, 7.2.2]
Výroba nanovláken
3.2.1.19 atomic layer deposition
ALD
process of fabricating uniform conformal films through the cyclic deposition of material through self-terminating surface reactions that enable thickness control at the atomic scale
Note 1 to entry: This process often involves the use of at least two sequential reactions to complete a cycle that can be repeated several times to establish a desired thickness.
[SOURCE: ISO/TS 80004‑8:2013, 7.2.2]
Nanoribbon production