Nacházíte se:
Domů »
Terminologická databáze »
ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - odpařování elektronovým paprskem
ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby
Stáhnout normu: | ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Zobrazit podrobnosti) |
Datum vydání/vložení: | 2016-11-01 |
Zdroj: | https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en |
Třidící znak: | 012003 |
ICS: |
|
Stav: | Neplatná |
‹
Nahlásit chybu
6.1.2 odpařování elektronovým paprskem
proces, při kterém se materiál odpařuje dopadem vysokoenergetických elektronů ve vysokém nebo velmi vysokém vakuu s následnou dispozicí na substrát
6.1.2 electron-beam evaporation
process in which a material is vaporized by incidence of high energy electrons in high or ultra-high vacuum conditions for subsequent deposition onto a substrate