Informační systém Uvádění výrobků na trh
Nacházíte se: Domů » Terminologická databáze » ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - fotolitografie optická litografie

ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby

Stáhnout normu: ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Zobrazit podrobnosti)
Datum vydání/vložení: 2016-11-01
Zdroj: https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en
Třidící znak: 012003
ICS:
  • 01.040.07 - Matematika. Přírodní vědy (názvosloví)
  • 07.120 - Nanotechnologie
Stav: Neplatná
Terminologie normy
Nahlásit chybu

7.1.20 fotolitografie optická litografie

proces, při kterém se používá elektromagnetické záření pro přenos masky přes nitkový kříž za účelem vytvoření vzoru

POZNÁMKA 1 k heslu K výrobě masky se obvykle používá rezist.

7.1.20 photolithography optical lithography

process in which electromagnetic radiation is used to transfer a mask through a reticle to create a pattern

NOTE 1 to entry Usually a resist material is used to make the mask.

Využíváme soubory cookies, díky kterým Vám mužeme poskytovat lepší služby. Využíváním našich služeb s jejich využitím souhlasíte. Více zde Souhlasím