ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby
Stáhnout normu: | ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Zobrazit podrobnosti) |
Datum vydání/vložení: | 2016-11-01 |
Zdroj: | https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en |
Třidící znak: | 012003 |
ICS: |
|
Stav: | Neplatná |
‹
Nahlásit chybu
7.2.19 naprašování
proces fyzikální napařování (7.2.14), využívající energetické částice pro přenos atomů ze zdrojového materiálu na podklad
7.2.19 sputter deposition
physical vapour deposition (7.2.14) process employing energetic particles to transfer atoms from a target material to a substrate