ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby
Stáhnout normu: | ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Zobrazit podrobnosti) |
Datum vydání/vložení: | 2016-11-01 |
Zdroj: | https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en |
Třidící znak: | 012003 |
ICS: |
|
Stav: | Neplatná |
‹
Nahlásit chybu
7.1.10 ponorná optika
proces optické litografie (3.6), během kterého je čočka objektivu ponořena v rezistentní kapalině, aby došlo k dosažení indexu lomu
7.1.10 immersion optics
optical lithography (3.6) process that immerses the objective lens and resist in a liquid to provide refractive index matching