Nacházíte se:
Domů »
Terminologická databáze »
ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - depozice soustředěným elektronovým paprskem
ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby
Stáhnout normu: | ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Zobrazit podrobnosti) |
Datum vydání/vložení: | 2016-11-01 |
Zdroj: | https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en |
Třidící znak: | 012003 |
ICS: |
|
Stav: | Neplatná |
‹
Nahlásit chybu
7.2.11 depozice soustředěným elektronovým paprskem
chemické napařování (7.2.3) pomocí soustředěného proudu elektronů k indukci lokalizované reakce molekul plynného prekurzoru na povrchu
7.2.11 focused electron-beam deposition
chemical vapour deposition (7.2.3) using a focused, concentrated stream of electrons to induce localized reactions of molecules from a precursor gas onto a surface