ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby
Stáhnout normu: | ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Zobrazit podrobnosti) |
Datum vydání/vložení: | 2016-11-01 |
Zdroj: | https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en |
Třidící znak: | 012003 |
ICS: |
|
Stav: | Neplatná |
‹
Nahlásit chybu
7.2.3 chemické napařování CVD
depozice z pevného materiálu chemickou reakcí plynného prekurzoru nebo směsi prekurzorů, obvykle vyvolaná působením tepla na substrát
[ZDROJ: ISO 2080:2008, 2.2, modifikováno].
7.2.3 chemical vapour deposition CVD
deposition of a solid material by chemical reaction of a gaseous precursor or mixture of precursors, commonly initiated by heat on a substrate
[SOURCE: ISO 2080:2008, 2.2, modified].